芯片制造關鍵設備再突破！
光明 2021年03月18日 07:39
芯片制造重要一環(huán)取得突破!
中國電科旗下裝備子集團日前已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。
中國電科連續(xù)突破高性能離子源、高速晶圓傳輸?shù)取翱ú弊印奔夹g，自主研制中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，累計形成核心發(fā)明專利413項，實現(xiàn)我國芯片制造領域全譜系離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展，有效緩解我國芯片制造領域斷鏈、短鏈難題?！矩熑尉庉?李小可】
來源：光明網(wǎng)
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